AGC AQ/AQ2/AQ3/AQR/AQT
AGC
CLASER-XS003
应用:
1.半导体曝光用镜头
2.液晶曝光镜头
3.光学掩模底板
4.光学元件
5.玻璃晶片
1.对于200nm以下的深紫外光、红外光等宽波长范围的高透过率*1,从i线到KrF、ArF、Xe长轴灯
2.低致密稀有特性,低双折射
3.约1000℃的高耐热性
4.对高能激光具有优异的耐久性
5.低热膨胀率低于普通玻璃的1/10
6.均质性高,超高纯度,金属杂质含量极低
7.低OH基含量
8.高耐化学性
9.低介质损耗
应用:
1.半导体曝光用镜头
2.液晶曝光镜头
3.光学掩模底板
4.光学元件
5.玻璃晶片
1.对于200nm以下的深紫外光、红外光等宽波长范围的高透过率*1,从i线到KrF、ArF、Xe长轴灯
2.低致密稀有特性,低双折射
3.约1000℃的高耐热性
4.对高能激光具有优异的耐久性
5.低热膨胀率低于普通玻璃的1/10
6.均质性高,超高纯度,金属杂质含量极低
7.低OH基含量
8.高耐化学性
9.低介质损耗