DLS-LHOP2024071101
C-Laser
总体介绍：
Corning 7980，ArF 级，是一种通过火焰水解制造的高纯度合成无定形二氧化硅。这种非晶态、无色的石英玻璃具有极低的热膨胀系数、优异的光学品质以及深紫外区卓越的透射率。 ArF Grade 是为 193 nm 光刻系统开发的。
为了满足客户在微光刻等前沿应用中具有挑战性的质量要求，康宁致力于持续改进。我们在研发方面的投资与康宁的质量体系相结合，支持我们的技术领先地位，并确保我们每次都能按时满足客户的要求。
康宁超纯熔融石英玻璃材料 HPFS 7980
材料最早由康宁公司为美国航空航天设备开发，随后逐渐应用于商业领域。康宁公司对肖特公司和俄罗斯的相应材料进行了比较。康宁的产品在均匀性和一致性方面具有明显的优势。最重要的是，康宁的产品在光学和机械性能相似的情况下，材料应力非常小且稳定。
产品名称： 康宁 7980 熔融石英 ArF 级
别名：HPFS熔融石英ArF Grade 7980、Corning 7980、Corning 7980熔融石英、Corning 7980熔融石英ArF Grade、HPFS Corning 7980熔融石英、Corning 7980半导体光学材料等
光学和热性能：
| 软化点 | 1585 ℃（107.6 泊） |
| 退火点 | 1042 ℃（1013 泊） |
| 应变点 | 893 ℃（1014.5 泊） |
| 导热系数 | 1.30 瓦/米·开 |
| 热扩散率 | 0.0075平方厘米/秒 |
| 平均热膨胀系数 | 0.52 ppm/K 5℃-35℃ 0.57 ppm/K 0℃-200℃ 0.48 ppm/K -100℃-200℃ |
机械性能：
| 弹性（杨氏）模量 | 72.7 气压 |
| 剪切模量 | 31.4GPa |
| 平均断裂模量，磨损 | 52.4兆帕 |
| 体积模量 | 35.4GPa |
| 泊松比 | 0.16 |
| 密度 | 2.201克/立方厘米 |
| 努氏硬度（100 克负载） | 522公斤/平方毫米 |
化学耐久性：
| 解决方案 | Time | 重量损失 [毫克/平方厘米] | |
| 5% HCl（按重量计） | @95℃ | 24小时 | < 0.010 |
| 5%氢氧化钠 | @95℃ | 6小时 | 0.453 |
| 0.02N 碳酸钠 | @95℃ | 6小时 | 0.065 |
| 0.02N H2SO4 | @95℃ | 24小时 | < 0.010 |
| 去离子水 | @95℃ | 24小时 | 0.015 |
| 10% HF（按重量计） | @25℃ | 20米 | 0.230 |
| 10% NH4F*HF（按重量计） | @25℃ | 20米 | 0.220 |
主要应用领域：
| 应用领域： | 微光刻技术的应用 光刻镜头， 光掩模基板 深紫外激光元件 光学标准件 准分子激光光学 光刻光学 光束传输元件 光导 激光聚变 各种航空航天技术的应用 |
| ***** | 其他 |
配套定制制造服务：
包括成型、数控加工、抛光、粒子束加工、磁通量转换加工、研磨、涂层、轻量化、定制成型、沉头孔、钻孔和取芯、边缘和斜角抛光、3D 轮廓、斜角和倒角、台阶和槽、激光切割打标、计量检测、精密间距抛光、双面抛光、光学组装、测量等。
配套加工设备；
1).单面研磨抛光机
2).双面抛光机
3).抛环机
4).DMG五轴五联动球面铣床
5).DMG超声波加工中心
6).超大型龙门数控加工中心（2.0*2.0m）
7).超大型平面磨床（1.6m*1.6m）
8).数控切割机
9).薄板清洗机
10).超声波槽体清洗机
11).平面干涉仪
12).二维探测器
13).离子束抛光机
14).磁流变抛光设备
总体介绍：
Corning 7980，ArF 级，是一种通过火焰水解制造的高纯度合成无定形二氧化硅。这种非晶态、无色的石英玻璃具有极低的热膨胀系数、优异的光学品质以及深紫外区卓越的透射率。 ArF Grade 是为 193 nm 光刻系统开发的。
为了满足客户在微光刻等前沿应用中具有挑战性的质量要求，康宁致力于持续改进。我们在研发方面的投资与康宁的质量体系相结合，支持我们的技术领先地位，并确保我们每次都能按时满足客户的要求。
康宁超纯熔融石英玻璃材料 HPFS 7980
材料最早由康宁公司为美国航空航天设备开发，随后逐渐应用于商业领域。康宁公司对肖特公司和俄罗斯的相应材料进行了比较。康宁的产品在均匀性和一致性方面具有明显的优势。最重要的是，康宁的产品在光学和机械性能相似的情况下，材料应力非常小且稳定。
产品名称： 康宁 7980 熔融石英 ArF 级
别名：HPFS熔融石英ArF Grade 7980、Corning 7980、Corning 7980熔融石英、Corning 7980熔融石英ArF Grade、HPFS Corning 7980熔融石英、Corning 7980半导体光学材料等
光学和热性能：
| 软化点 | 1585 ℃（107.6 泊） |
| 退火点 | 1042 ℃（1013 泊） |
| 应变点 | 893 ℃（1014.5 泊） |
| 导热系数 | 1.30 瓦/米·开 |
| 热扩散率 | 0.0075平方厘米/秒 |
| 平均热膨胀系数 | 0.52 ppm/K 5℃-35℃ 0.57 ppm/K 0℃-200℃ 0.48 ppm/K -100℃-200℃ |
机械性能：
| 弹性（杨氏）模量 | 72.7 气压 |
| 剪切模量 | 31.4GPa |
| 平均断裂模量，磨损 | 52.4兆帕 |
| 体积模量 | 35.4GPa |
| 泊松比 | 0.16 |
| 密度 | 2.201克/立方厘米 |
| 努氏硬度（100 克负载） | 522公斤/平方毫米 |
化学耐久性：
| 解决方案 | Time | 重量损失 [毫克/平方厘米] | |
| 5% HCl（按重量计） | @95℃ | 24小时 | < 0.010 |
| 5%氢氧化钠 | @95℃ | 6小时 | 0.453 |
| 0.02N 碳酸钠 | @95℃ | 6小时 | 0.065 |
| 0.02N H2SO4 | @95℃ | 24小时 | < 0.010 |
| 去离子水 | @95℃ | 24小时 | 0.015 |
| 10% HF（按重量计） | @25℃ | 20米 | 0.230 |
| 10% NH4F*HF（按重量计） | @25℃ | 20米 | 0.220 |
主要应用领域：
| 应用领域： | 微光刻技术的应用 光刻镜头， 光掩模基板 深紫外激光元件 光学标准件 准分子激光光学 光刻光学 光束传输元件 光导 激光聚变 各种航空航天技术的应用 |
| ***** | 其他 |
配套定制制造服务：
包括成型、数控加工、抛光、粒子束加工、磁通量转换加工、研磨、涂层、轻量化、定制成型、沉头孔、钻孔和取芯、边缘和斜角抛光、3D 轮廓、斜角和倒角、台阶和槽、激光切割打标、计量检测、精密间距抛光、双面抛光、光学组装、测量等。
配套加工设备；
1).单面研磨抛光机
2).双面抛光机
3).抛环机
4).DMG五轴五联动球面铣床
5).DMG超声波加工中心
6).超大型龙门数控加工中心（2.0*2.0m）
7).超大型平面磨床（1.6m*1.6m）
8).数控切割机
9).薄板清洗机
10).超声波槽体清洗机
11).平面干涉仪
12).二维探测器
13).离子束抛光机
14).磁流变抛光设备
