Ohara SK-1300/SK-1310/SK-1320
Ohara
CLASER-XS002
特征：
• 为光纤开发的VAD 方法得到进一步改进，可用于制造熔融石英。
• 实现了无与伦比的理想特性。
• 高纯度（总金属杂质小于0.5ppm）
• OH 含量可控制在1 ppm 或更低。
• 确保高耐热性。
• 实现高传输。（SK-1310 具有出色的在紫外线、可见光和红外线的整个波长范围内的特性。）
• 不含气泡或条纹。
• 优异的抗激光性能。
应用：
• 用于TFT（多晶硅薄膜晶体管LCD）、SOI（绝缘体上硅）等各种器件的晶圆。
• 用于超大规模集成电路和液晶显示器的光掩模基板。
• 用于紫外线和真空紫外线的光学元件、透镜、反射镜和窗口。
标准尺寸：
•50~500mm圆形
•50~ 1000mm方形
特征：
• 为光纤开发的VAD 方法得到进一步改进，可用于制造熔融石英。
• 实现了无与伦比的理想特性。
• 高纯度（总金属杂质小于0.5ppm）
• OH 含量可控制在1 ppm 或更低。
• 确保高耐热性。
• 实现高传输。（SK-1310 具有出色的在紫外线、可见光和红外线的整个波长范围内的特性。）
• 不含气泡或条纹。
• 优异的抗激光性能。
应用：
• 用于TFT（多晶硅薄膜晶体管LCD）、SOI（绝缘体上硅）等各种器件的晶圆。
• 用于超大规模集成电路和液晶显示器的光掩模基板。
• 用于紫外线和真空紫外线的光学元件、透镜、反射镜和窗口。
标准尺寸：
•50~500mm圆形
•50~ 1000mm方形
